名稱：上海矽振電子科技有限公司
地址：上海市松江區(qū)茸興路407號(hào)6棟108室
聯(lián)系人：陳浩
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性能指標(biāo)
操作溫度范圍
2 0 0 到1 2 5 0 度（ 1 3 0 0 度采用APM線加熱器）
一致加熱區(qū)，******每分鐘15.0升氣流，氣流根據(jù)晶圓數(shù)量大小，管道裝載端的擋板狀態(tài)而定
總直徑10.0寸（251mm）以下
管道的恒溫區(qū)：
Thermco 5200 擴(kuò)散爐
5200系列 750-1250°C 38-42”
400-750°C 36-40”
5100系列 750-1250°C 26-30”
400-750°C 24-28”
冷啟動(dòng)斜坡溫度：
平均斜坡溫度每分鐘15度
冷卻溫度：
爐內(nèi)溫度會(huì)從1200度以每分鐘最少3度的水平直線降到900度。
長(zhǎng)期穩(wěn)定性：
爐內(nèi)溫度穩(wěn)定在± 0.25° C以下
復(fù)原率：
以平均7500克裝載量為標(biāo)準(zhǔn)，恒溫區(qū)在18分鐘內(nèi)回復(fù)到900°C。
快速反應(yīng)：
100度階躍變化無(wú)需改變控制設(shè)定，且對(duì)均勻加熱區(qū)影響很小。
管道內(nèi)互動(dòng)：
不同管道之間會(huì)有± 0.1°C的溫度互動(dòng)，這是由于熱電偶結(jié)合部和對(duì)流冷卻系統(tǒng)之間的溫差。
設(shè)備要求：
電力：
440/460/480伏, 3相。 60赫茲 or
380/400/415伏, 3相，50赫茲。
控制系統(tǒng)：
120伏, 1相, 50/60赫茲，可選變壓器。
水：
60華氏度8GPM（加侖每分鐘）
電力系統(tǒng)：
穩(wěn)定的二級(jí)控制，零角度SCR電力控制器加上高效的空氣對(duì)流冷卻系統(tǒng)。
