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CLS 860 系列連續(xù)液位監(jiān)測
超聲波點(diǎn)液位系統(tǒng) 860 系列旨在連續(xù)檢測半導(dǎo)體行業(yè) PVD、CVD 和 ALD 工藝中鼓泡器和安瓿中超純液體化學(xué)品的液位。探頭安裝在標(biāo)準(zhǔn)安瓿的 3/4 英寸 VCR 填充口中，或者通過 Sensaras 設(shè)計(jì)的罐的側(cè)面非侵入式地檢測液體與底部的界面高度。探頭上沒有可能引入雜質(zhì)的活動(dòng)部件。它不依賴于化學(xué)品的顏色、介電常數(shù)、密度和粘度。該設(shè)計(jì)允許客戶校準(zhǔn)多個(gè)傳感點(diǎn)。侵入式探頭的所有接液部件均采用 316LSS 材質(zhì)，經(jīng)過電拋光處理并經(jīng)過泄漏測試。每個(gè)探頭都是根據(jù)用戶的規(guī)格和要求定制的。電子設(shè)備遠(yuǎn)離探頭安裝，以適應(yīng)更高溫度的應(yīng)用。傳感器或液體之間無需校準(zhǔn)或調(diào)整。
標(biāo)準(zhǔn)特性：
- 電子輸出具有超過所需測量范圍的模擬輸出（4-20mA 或 0-5V）。
- 4 個(gè)設(shè)定點(diǎn)，帶 NPN 輸出，達(dá)到設(shè)定水平時(shí)有 LED 顯示。
- 溫度模擬輸出。
- RS-232通訊
- 藍(lán)牙顯示器選項(xiàng)。
- 316LSS 中的單傳感器結(jié)構(gòu)
- 雙系統(tǒng)無需液體變化或溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)
好處
- 超聲波技術(shù)沒有移動(dòng)部件。
- 顏色、粘度、介電常數(shù)和密度不影響系統(tǒng)的性能。
- CLS860 程序可以通過 RS-232 進(jìn)行更改。
- 高精度地估計(jì)批次運(yùn)行。
