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Bubbler Vessels 原液罐
CollabraTech的不銹鋼鼓泡原液罐是設計用于支持各種蒸汽輸送系統，
該系統用于半導體、太陽能及相關產業的制造過程中。
該原液罐為超高純度(UHP) 罐體，適用于以下制程:
?原子層沉積
?等離子體增強原子
層沉積
?化學氣相沉積
?等離子體增強化學品
層沉積
?外延
客戶可選擇標準的5-，10-和20升容積原液罐，
對于CTS鼓泡原液罐也可以非標定制，以支持專有的噴霧擴散配置。
其配置選項包括:
?進口可自動補液
?液面感知
?熱調節
?前體監測
（How Bubbler Vessels Work）原液罐如何工作
作為蒸汽輸送系統的一部分，鼓泡原液罐將把液體化學品轉化為化學品蒸汽。當罐里
充滿液體后，使用噴霧擴散器氣體通入鼓泡罐鼓泡以達到******化的蒸汽
飽和度。來自主動線性液位傳感器的反饋將容器維持在可配置的設定值水平。
